台中市環保局07年底在中科園區科園路設置連續監測儀器，監測中科光電廠所產生的揮發性氣體濃度是否超出管制標準，環保單位動用最先進的FTIR（傅立葉轉換紅外光譜儀）執行周界揮發性有機物監測，監測到的物質六氟化硫、丙二醇甲醚醋酸脂、甲醇及矽甲烷，都是一般光電廠經常使用的原料，所測得的濃度都不高，僅0.64~66.3 ppb（1ppb=10億分之1），遠低於管制標準以下，最大值僅約為管制值的百分之2不到。

而臺中市今年的懸浮微粒濃度也呈現下降的趨勢，空氣中粒狀污染物的濃度逐漸改善，環境保護局表示，今年懸浮微粒值較去年降低是可喜的現象，也證明環保單位長期的努力已有成效。