環保團體綠色和平調查，我國半導體業綠電自發自用率低於千分之一，其中位居全球半導體產業要角的「台積電」廠區閒置空間最多，未裝設綠電的閒置面積比例也最高。台積電閒置區域若鋪滿太陽能板，一年可發出5300萬度綠電，約等於1.2萬戶的家庭用電量。綠色和平今（2日）公布台灣四大半導體與電子業「屋頂光電潛力盤點調查」，呼籲台積電扮演台灣綠能轉型的重要推手，承諾至少20%綠電自發自用。
綠色和平調查：台積電九成閒置空間未設綠電
淨零減碳國際聲浪不斷，國內半導體業及電子業紛紛承諾淨零排放或加入「100％再生能源」（RE100）國際倡議，不過環團發現，這些有大量綠電需求的企業，反而消失在我國綠電開發的進程中。
綠色和平指出，從國內半導體及電子業自我揭露的相關報告中發現，企業實際使用綠電的占比普遍偏低，半導體業綠電自發自用率，更全數低於千分之一，僅電子業「台達電」達4%表現較佳。綠色和平今（2日）公布台灣四大半導體與電子業「屋頂光電潛力盤點調查」，結果顯示，台積電、日月光、聯電、台達電四大半導體與電子業中，台積電擁有最大廠區面積，但未裝設綠電的閒置面積比例也最高（92.1%）。
調查方式是以空照圖盤點企業廠房空間閒置率，排除建築突出物、管線設施、遮蔭後，採計最小面積達10kw以上空間，且納入停車場潛力量。綠色和平氣候能源專案主任鄭楚忻呼籲，台積電應扮演帶動台灣綠能轉型的重要推手，承諾至少20%綠電自發自用，也能避免未來政府綠電開發不如預期時，台積電能保有部分綠電使用的掌控權。
台灣屋頂光電總潛力 超過三個台積電
綠色和平根據學者研究及政府公開資訊盤點指出，台灣屋頂光電總潛力量一年高達623億度電，可供應超過三個台積電。
鄭楚忻強調，企業在地狹人稠的城市中更應加速開發屋頂光電。他指出，台積電目前僅在60%車棚及部分辦公大樓設置綠電，若在其餘超過42.4公頃的屋頂及車棚閒置空間上滿鋪太陽能板，一年還可再發電5300萬度電，約等於1.25萬戶家庭用電量。
日月光、聯電也分別有高達88.9%及63.4%閒置空間，每年各可發出540萬及550萬度綠電。台達電則已在54.7%、約2.5萬平方公尺的閒置空間設置綠電，剩餘未建置空間則多為舊廠房。
自用轉供皆宜 美光、矽品出租屋頂建置光電
國外企業投資綠電自發自用，已有不少先例。鄭楚忻舉國際品牌Apple、Intel為例，Apple總部「Apple Park」有近100%的太陽能板設置率，Intel位於加州佛森的廠區「Folsom Campus」則大規模採用停車場空間建置太陽能棚頂，目前建置比例已達47%。
事實上，國內有不少企業投入屋頂光電，台灣太陽能光電產業協會常務理事陳坤宏分享，過去許多企業出租屋頂建置光電後，大多由設置商直接將產出的綠電全數躉售給台電，純粹以租金收益為目標。不過，近來開始有企業將屋頂光電轉供給其他企業，如台中「野寶科技」2020年不僅成功將工廠屋頂建置屋頂太陽能電廠，還將部份綠電轉供給台灣萊雅公司。
陳坤宏說明，目前野寶科技的越南工廠已接獲品牌商迪卡儂要求採購綠電，雖然台灣工廠目前暫無綠電需求，但未來台灣總公司若受同樣要求，就將擁有優先採購權，等同取得綠電優勢。
另有企業為減少前期投資風險，直接將屋頂出租做光電，再全數買回產出的綠電，如半導體業美光及矽品公司。陳坤宏也說，企業不僅不會額外增加財務壓力，甚至可取得低於市面的綠電電價，讓企業閒置空間屋頂的利用效益達到最大化。
