台積電晶圓廠節水 1滴水用3.5次 | 環境資訊中心
台灣新聞

台積電晶圓廠節水 1滴水用3.5次

2015年04月10日
摘錄自2015年4月9日中央社台中報導

晶圓代工廠台積電節水成效佳,目前1滴水用了3.5次,今年目標將達 1滴水用4次。

台積電今天邀請媒體參觀位於中部科學工業園區的晶圓15廠,由廠務處副處長陳鏘澤說明台積電水資源管理作法,並安排實地參觀潔淨室機台節水與水處理設備。

陳鏘澤表示,目前台積電每平方公分晶圓用水量約5至6公升,節水效率為美國廠商的3倍、日本廠商的2倍;目前全公司平均製程回收率達87.5%。

陳鏘澤表示,台積電全台1天用水量約9萬噸,產生24萬噸回收水,1年產生多達8760萬噸回收水。