台積電表示，與三星、英特爾國際大廠之間競爭激烈，今天所談的5奈米晶圓，將趕在2020年推出。
原先南科提出用水量將從20萬CMD增加至25萬CMD，且這5萬CMD全由農業用水調撥，環團對此相當不滿，小組也要求檢討。此次南科管理局局長林威呈出面報告，承諾將使用再生水3.25萬CMD，分別來自永康再生水廠1.25萬CMD、園區再生水2萬CMD。
如此一來，需要增調的農水量將降為1.93萬CMD。不過，由於永康再生水廠目前尚在建置中，在其展開運作之前，仍須由嘉南農田水利會支援12萬CMD的農業用水。
台南市政府水利局也到場簡報永康再生水計畫。永康再生水將在2017年7月開工，一期將在2020年完工，可供水量初期0.8萬CMD、中期1.55萬CMD；二期則在2035年完工，終期可供應3萬CMD水。南市府表示，並已獲得南科及樹谷園區的廠商，如台積電、聯電、群創及旭硝子簽署合作意向，共需求再生水15,500CMD。
台積電指出，雖然擴廠將增加用水、用電。但5奈米晶圓和28奈米晶圓相比，體積只是14%、生產所需的水電也僅為28奈米晶圓的四成左右。而製成產品後，耗電量只要10%，將大幅節能。
林威呈表示，此次擴廠，將增加70萬kW的用電量，溫室氣體排放增量約320萬公噸/年。因此，南科以全園區節電計畫及抵換措施來因應，將每年節能12.9億度、減碳67.18萬公噸，減量達增量的20%以上。包括製程及廠區的節能、太陽能發電、認購綠電等。
不過，環保團體台灣水資源保育聯盟更進一步認為，身為科技龍頭，台積電應該自己成立綠電公司，才是更積極的作法。
