超英特爾趕三星 中科大肚山園區台積電環差初審過關 | 環境資訊中心
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超英特爾趕三星 中科大肚山園區台積電環差初審過關

2016年11月03日
本報2016年11月3日台北訊,賴品瑀報導

「這是超車英特爾的關鍵時刻!」環署3日進行中科台中園區擴建計畫的環差案小組初審,台積電10奈米晶圓廠因為製程的改變,而提出營運階段排放化學物質項目的變更。中科與台積電皆強調,這是台積電與英特爾、三星在晶圓龍頭之爭的重要時刻,要求各方支持。

在環署副署長詹順貴親自出馬擔任主席下,第一次初審便獲得修正後通過的建議,只待環評大會的確認。此案需補件的項目為,本次增減運作或衍生各化學物質檢測來源、濃度(含檢測圖譜)、暴露劑量、致癌、非致癌風險及風險管理對策,及納入鈷、氫氧化四甲基銨等處理回收設施風險管理策略。

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在環署副署長詹順貴親自出馬擔任主席下,此環差案第一次初審便獲得修正後通過的建議。賴品瑀攝影。

為了讓台積電的10奈米晶圓廠落腳台中大肚山彈藥庫原址,中科提出台中園區擴建案。雖然就選址在中科一二期周遭的大肚山彈藥庫,面積僅為53.08公頃,且有原用水核配量充足、污水處理設施可共用等優點,但由於當地居民不滿再將減少綠地、影響生態,更對台中地區再增加空污傷害健康,而不停表達不滿的立場。當時擴建環評案歷經四次進出環評大會,在2015年的2月終獲通過。


當地居民不滿擴廠將再減少綠地、影響大肚山生態。野自拍攝。

當時環團也一度提出撤銷環評結論的訴願,但在遭法院駁回後,卻無在60天期限內再上訴,目前已是失去撤銷環評的機會。

由於製程有改變,原計畫規劃管道排放物質清單中,可能使用或排放的化學物質有152種,如今申請增加為182種,經危害確認後具毒理資料可納入健康風險評估的物質從36種降為32種,2B致癌物則從乙醇、乙荃、砷及鎳4種,變成砷、鎳、二氯甲烷與鈷化合物5種。

在放流水排放物質方面,則是依據半導體業相關檢測數據統計,要進行後續放流水擴散模擬與放流水健康風險評估的標的物質,從砷、鎳、銅、鋅、鉻、丙酮、異丙醇及氫氧化四甲基銨,轉為砷、鎳、銅、鋅、鉻、鈷、N-甲基吡咯烷酮及氫氧化四甲基銨共八項,其中2B致癌物有砷、鎳、鈷。

但中科也強調,不論是管道排放或是放流水排放,皆小於美國公認的可忽略風險率,增量總致癌風險小於百萬分之一;非致癌風險值與流行病學分析也同樣無顯著不良影響。

台積電為求過關,也簡報了先前視為機密不願多說的製程與其污染防制措施,表示10奈米晶圓比起28奈米晶圓,除減少了73%的大小,耗電率也將檢省了80%的產品用電量,這樣的半導體將會生產出更節能環保的產品。

台積電強調砸下45億量身訂作的尾氣處理設施2500台,直接在機台現址就處理,可以有效去除95%以上,廢水的部分也都全面納管、全面分流處理。例如此次增加的2B致癌物「鈷」,在增加了尾氣處理設施提出去除效率後,每年的最大排放量從2.3公斤再降為0.35公斤,遠小於健康風險評估的22公斤。

中科局局長陳銘煌更邀請環署、媒體、環團組團請往中科親眼驗證。陳銘煌表示,台積電在該園區已經完成P5廠的建設,P6廠也已經上樑即將完工,他眼見到台積電每夜燈火通明,真的是一舉超前競爭對手英特爾、三星的關鍵時刻。

中科大肚山彈藥庫園區除了台積電外,尚有自行車龍頭捷安特要進駐,將設置管理中心、研發中心與自行車博物館,陳銘煌表示,目前也已動工,預計兩年內完成。

作者

賴品瑀

新店溪下游人,曾在成大中文與南藝紀錄所練功打怪撿裝備,留下《我們迷獅子》、《我是阿布》兩部紀錄片作品。現為人類觀察員,並每日鍛鍊肌肉與腦內啡,同時為環境資訊電子報專任記者,為大家搭起友誼的橋樑。