超英特爾趕三星 中科大肚山園區台積電環差初審過關

「這是超車英特爾的關鍵時刻！」環署3日進行中科台中園區擴建計畫的環差案小組初審，台積電10奈米晶圓廠因為製程的改變，而提出營運階段排放化學物質項目的變更。中科與台積電皆強調，這是台積電與英特爾、三星在晶圓龍頭之爭的重要時刻，要求各方支持。

在環署副署長詹順貴親自出馬擔任主席下，第一次初審便獲得修正後通過的建議，只待環評大會的確認。此案需補件的項目為，本次增減運作或衍生各化學物質檢測來源、濃度（含檢測圖譜）、暴露劑量、致癌、非致癌風險及風險管理對策，及納入鈷、氫氧化四甲基銨等處理回收設施風險管理策略。

為了讓台積電的10奈米晶圓廠落腳台中大肚山彈藥庫原址，中科提出台中園區擴建案。雖然就選址在中科一二期周遭的大肚山彈藥庫，面積僅為53.08公頃，且有原用水核配量充足、污水處理設施可共用等優點，但由於當地居民不滿再將減少綠地、影響生態，更對台中地區再增加空污傷害健康，而不停表達不滿的立場。當時擴建環評案歷經四次進出環評大會，在2015年的2月終獲通過。

當時環團也一度提出撤銷環評結論的訴願，但在遭法院駁回後，卻無在60天期限內再上訴，目前已是失去撤銷環評的機會。

由於製程有改變，原計畫規劃管道排放物質清單中，可能使用或排放的化學物質有152種，如今申請增加為182種，經危害確認後具毒理資料可納入健康風險評估的物質從36種降為32種，2B致癌物則從乙醇、乙荃、砷及鎳4種，變成砷、鎳、二氯甲烷與鈷化合物5種。

在放流水排放物質方面，則是依據半導體業相關檢測數據統計，要進行後續放流水擴散模擬與放流水健康風險評估的標的物質，從砷、鎳、銅、鋅、鉻、丙酮、異丙醇及氫氧化四甲基銨，轉為砷、鎳、銅、鋅、鉻、鈷、N-甲基吡咯烷酮及氫氧化四甲基銨共八項，其中2B致癌物有砷、鎳、鈷。

但中科也強調，不論是管道排放或是放流水排放，皆小於美國公認的可忽略風險率，增量總致癌風險小於百萬分之一；非致癌風險值與流行病學分析也同樣無顯著不良影響。

台積電為求過關，也簡報了先前視為機密不願多說的製程與其污染防制措施，表示10奈米晶圓比起28奈米晶圓，除減少了73%的大小，耗電率也將檢省了80%的產品用電量，這樣的半導體將會生產出更節能環保的產品。

台積電強調砸下45億量身訂作的尾氣處理設施2500台，直接在機台現址就處理，可以有效去除95％以上，廢水的部分也都全面納管、全面分流處理。例如此次增加的2B致癌物「鈷」，在增加了尾氣處理設施提出去除效率後，每年的最大排放量從2.3公斤再降為0.35公斤，遠小於健康風險評估的22公斤。

中科局局長陳銘煌更邀請環署、媒體、環團組團請往中科親眼驗證。陳銘煌表示，台積電在該園區已經完成P5廠的建設，P6廠也已經上樑即將完工，他眼見到台積電每夜燈火通明，真的是一舉超前競爭對手英特爾、三星的關鍵時刻。

中科大肚山彈藥庫園區除了台積電外，尚有自行車龍頭捷安特要進駐，將設置管理中心、研發中心與自行車博物館，陳銘煌表示，目前也已動工，預計兩年內完成。